ストレート真空バルブ

　　６４　タイプ．ストレート真空バルブの特徴

�@ ストレートタイプであるため､狭いスペースで使用が出来ます。

�A ＳＵＳ−３０４材(ステンレス系）の使用により、腐食による弊害も少ない。

�B ＳＵＳのベローズを使用し、溶接密封されているので、焼き出し処理（ベーキング）が出来る。

�C 高頻度使用摩滅による真空度の劣化は復元性の優れた特殊合金製のノズル部品を交換するこ とに依り、真空度の劣化は完全再生する事が出来る。

各種のストレートヴァルブ （但し、写真向かって左側３個はBS（真鍮材製低真空用） Niメッキ、ベロウは半田付け接合品）

　　　　　　　６４型−６W　(Wベロータイプ）　　　　　　　　 ６４型ー　５S　（シングルベロータイプ）　　

構　造　図

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　スエジロック接続パーツ　使用の場合は上図の様に全長が長くなります。

その他の真空バルブ類
ＩＣＦフランジ　接続タイプ  (63ＳＵＳ-ICF：タケノコ) 　　　　　　　　　　　　（但し、現在製品はローレット部分が六角型です	ストレートバルブ断面図  (63ＳＵＳ-M8) 　　　（但し、現在製品はローレット部分が六角型です）
６３Ａタイプは低真空用です。                      材質は真鍮、ニッケルメッキ　　りん青銅ベロー使用､半田付け密封です。200℃以上での使用は出来ません。 　 　63型　Ｍ８ねじ接続タイプは平面接続用の、「Ｏ リング溝 　付、」と溝無 しがあいます。 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 真鍮　ニッケルメッキ　(63A-M8)

各種ストレートバルブ規格表

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